_適用于大型光學元件的非接觸式高精度3D表面形貌檢測

泰勒·霍普森TAYLOR HOBSON近日發布LUPHOScan 850 HD非接觸式3D光學表面形貌測量系統， 這一新品的推出突破了大型光學計量的極限， 填補了行業內大型復雜光學元件非接觸式高精度三維表面形貌檢測的空白。

測量原理

LUPHOScan 850 HD以全球優越的LUPHOScan HD測量平臺為基礎，采用多波長干涉測量技術。 當光學元件旋轉時， 傳感器沿著被測件的輪廓移動，對整個面形進行螺旋式掃描。這種技術可以測量非球面、球面、平面、衍射面和自由曲面等任何光學表面形狀。 

LUPHOScan HD

LUPHOScan 850 HD的一系列前瞻性**為您提供可以信賴的測量結果。

革ming性的測量能力

被測工件的直徑*小可達5mm，*大可達850mm，高度可達210mm,被測工件*大重量可達350Kg。

超高的測量精度

能夠**地測量3D表面面形，面形誤差的重復性<λ/20（PV99）和 ≤5nm RMS*。

超高的采樣點數

高達600萬的測量點數， 可以**地測量和分析大尺寸光學元件的中頻面形誤差。

自由曲面的檢測

對自由曲面，圓周*大切向坡度變化可達±8°。（工件陡度可以達到90°）

幾乎能測量所有材料

可測量透明、不透明、鏡面、拋光或磨光表面。

測量環境條件變化的實時誤差補償

配置四個溫度補償傳感器和一個氣壓測量傳感器。

自動調心調平

全自動測量， 提供極為穩定而**的測量結果。

           *隨被測件的大小、形狀和重量而變化

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上海浦量元精密機電有限公司

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